アルミナ チューブは、高精度産業分野で広く使用されている重要な機能性管状材料です。その中心原料は高-純度アルミナ-で、Al₂O₃ 含有量は通常 95% 以上であり、ハイエンド製品では 99.5% 以上に達することもあります。-その製造プロセスは先進的なセラミック チューブの標準に従っています。冷間静水圧プレス、スリップ キャスティング、または押出によって成形された後、1600 度から 1800 度で高温焼結を受けます。これにより、アルミナが安定した -Al₂O₃ (コランダム相) 構造-に変換されます。この相は、材料の優れた性能の基礎です。
指定されているように、この製品は、1500 HV 以上のビッカース硬度、300 MPa 以上の圧縮強度、優れた電気絶縁性、顕著な高温耐性と耐食性など、一連の優れた特性を備えています。-これらの特性により、この製品は半導体産業、特にシリコンウェーハ処理における拡散炉や酸化炉用の炉管として欠かせない部品となっています。これらの用途では、アルミナ チューブは最大 1300 度の高温環境で動作します。-その高純度さと安定性により、炉雰囲気に金属不純物が混入することがなく、-半導体チップの品質を確保するために重要なシリコン ウェーハの汚染を回避します。
従来の石英管と比較して、この製品は高温クリープ耐性にはるかに優れており、耐用年数が 3 倍以上延びています。{0}これにより、炉心管の交換頻度の低減（半導体製造装置のメンテナンスコストの削減）だけでなく、装置メンテナンスによる生産のダウンタイムも最小限に抑えることができます。マイクロエレクトロニクス製造企業にとって、アルミナチューブは単なる管状部品ではなく、半導体製品の歩留まりや品質に影響を与える基礎材料であり、マイクロエレクトロニクス製造の主要プロセスの安定稼働を支えています。
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